온도와 압력을 위한 두께-전단 모드 수정 공진기 센서에 대한 검토

아브스트랙트-티스 작품은 온도 감지와 압력 측정을 위해 두께 방향자름변형 모드 공진기의 사용을 검토합니다. 그와 같은 센서의 장점은 디지털 형식, 고해상도, 고정밀도와 장기간 안정성을 본래 포함합니다. 이 작업은 인용된 센서 성능 결과와 함께 장치의 작동 중에 포함된 물리적 원칙을 검토합니다.
가장 이른 상업적으로 이용 가능한 온도 센서는 독립형 유닛이었습니다. 그들의 사용과 상업적 성공은 부분적으로 그 당시에 이용할 수 있는 보조적 전자에 따라 다른 단계를 통해 전개했습니다.
수많은 온도 감지 지원은 다른 두께 방향자름변형 공진기 센서에 보조적입니다. 2 주 카테고리는 온도 보상을 위한 분리된 공진기고 한 개의 두께 방향자름변형 공진기의 듀얼-모드 오퍼레이션입니다. 듀얼-모드 오퍼레이션은 다른 두께 전단 모드 가족들로부터의 2 모드 또는 동일 두께 전단 모드 가족으로부터의 2 모드의 사용으로 세분됩니다.
다양한 압력 센서는 두께 방향자름변형 공진기의 주파수가 스트레스 선입견과 바꾼다는 사실을 사용합니다. 그와 같은 애플리케이션은 사용된 스트레스 선입견의 패턴에 의존한 범주로 편리하게 나누어집니다.
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