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상세 정보 |
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| 재료: | 유리 웨이퍼 | 타입: | 용융 실리카, 용융 석영, 붕규산염, 소다 생석회 |
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| 브랜드: | 코닝, 쇼트, 오하라 | 지름: | 3'', 4'', 6'', 8'', 12'' |
| 두께: | 350 um, 500 um, 1000 um | 플랫: | 22 밀리미터, 32.5 밀리미터, 47.5 밀리미터, 57.5 밀리미터 |
| 서피스: | DSP, SSP, DSL | 거칠기: | Ra<1nm |
| 강조하다: | 용융 실리카 붕규산 유리 웨이퍼,퓨즈드 실리카 웨이퍼 350 um,융합된 규암 석영 캐리어 웨이퍼 |
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제품 설명
캐리어 웨이퍼로서의 융합된 규암 석영 붕규산 유리 웨이퍼
그들의 낮은 두께 때문에, 박형 웨이퍼는 스트레스와 파손에 취약합니다. 취급과 처리 동안 웨이퍼의 와핑은 높은 수율 손실을 일으키거나, 심지어 더 이상 웨이퍼를 취급하는 것을 불가능하게 할 수 있습니다. 이것은 웨이퍼와 기판 사이즈 위의 고도의 유연성과 박형 웨이퍼 조종 공학이 필요한 것을 의미합니다. 캐리어 웨이퍼는 다음과 같은 특정 속성을 가질 필요가 있습니다 : 기계적인 견고성 ; 화학 제품과 고온 방치 특성 ; 믿을 수 없을 만큼 낮은 허용한도 (1 μm 두께 편차아래로) ; 그리고 열팽창은 사용 물질, 예를 들면, 갈륨 비소 (GaAs), 인화 인듐 (InP), 실리콘 (Si) 또는 탄화규소 (SiC)에 맞추었습니다. 게다가, 취급 공구는 때때로 비소화 갈륨과 Si와 같은 재료 또는 심지어 적합한 CMOS에 적합할 필요가 있습니다.
최고급 캐리어 웨이퍼는 글라스로 만들었습니다, 석영 또는 실리콘이 전술한 요구사항을 충족시킬 수 있습니다. 유리와 석영은 산과 다른 화학에 반대하여 그들의 열 안정성과 저항 때문에 캐리어 웨이퍼에 쓸 우수한 소재입니다. 접착하고에게와 글라스와 석영 캐리어 웨이퍼로부터의 디-본딩이 그들이 투명한 이후 모니터링될 수 있습니다. 게다가, 그러므로 감소와 환경 보호의 비용이 드는데 기여하면서, 유리 캐리어 웨이퍼는 청소되고 재사용될 수 있습니다.
본텍은 다양한 유리와 석영 재질, 용융 실리카 (JGS1, JGS2, JGS3, 코닝 7980), 독수리 XG, 쇼트 BF33, 내열 유리, 믐파스, B270, D263T, 제로 듀르 기타 등등에 일합니다.
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재료 |
UV 용융 실리카, 용융 석영 (JGS1, JGS2, JGS3) |
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상술 |
유닛 |
3" |
4" |
5" |
6" |
8" |
12" |
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지름 (또는 스퀘어) |
밀리미터 |
76.2 |
100 |
125 |
150 |
200 |
300 |
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Tol(±) |
밀리미터 |
<0> |
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가장 가는 두께 |
밀리미터 |
>0.10 |
>0.10 |
>0.30 |
>0.30 |
>0.30 |
>0.50 |
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1차 플래트 |
밀리미터 |
22 |
32.5 |
42.5 |
57.5/notch |
눈금 |
눈금 |
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LTV (5mmx5mm) |
um |
<2> |
<2> |
<2> |
<2> |
<2> |
<10> |
|
TTV |
um |
<8> |
<10> |
<15> |
<20> |
<30> |
<30> |
|
활 |
um |
±20 |
±25 |
±40 |
±40 |
±60 |
±60 |
|
날실 |
um |
<30> |
<40> |
<50> |
<50> |
<60> |
<60> |
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PLTV (<0> |
% |
≥95%(5mm*5mm) |
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투과율 |
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광학적인 UV, IR 또는 맞춤 옵션 |
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에지 라운딩 |
밀리미터 |
세미 M1.2 표준 / 조회하는 IEC62276으로 순응합니다 |
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면형 |
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일 측면 닦은 /Double 옆은 광택이 났습니다 |
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연마한 측면 Ra |
별거 안 해 |
<1> |
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후면 표준 |
um |
장군은 0.2-0.5um입니다 또는 맞춤화된 것처럼 |
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출현 |
오염물 |
어떤 것 |
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Particles>0.3um |
<> |
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톱 마크, 가는 홈 |
어떤 것 |
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스크래치 |
어떤 것 |
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크래크스, 톱 마크, 얼룩 |
어떤 것 |
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수입 감사
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