상세 정보 |
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재료: | 사파이어 웨이퍼 | 성장법: | 수평적으로 향하는 결정화 (HDC) |
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특징: | Hardness9.0, 마모 저항자 | 색: | 백색 |
1차 플래트: | 2 인치 동안 16.0±1.0mm, 3 인치 동안 22.0±1.0mm, 4 인치 동안 30.0±1.5mm, 6 인치 동안 47.5/50.0±2.0mm | 플랫 배향: | A-비행기 (1 1-2 0 ) ± 0.2' ; 씨 플레인 (0 0-0 1 ) ± 0.2가' C-주축 45 +/- 2를 계획했습니다' |
애플리케이션: | 반도체 웨이퍼, LED 칩, 광학 유리창 | 산업: | LED, 광학적창문, 엘리 준비된 웨이퍼 |
강조하다: | 사파이어 기판 단-결정 웨이퍼,LED 등급 사파이어 웨이퍼,6 인치 단일 결정 사파이어 웨이퍼 |
제품 설명
2Inch-6 인치는 등급 사파이어 결정 기판을 이끌었습니다
사파이어 (분자식 Al2O3) 단일 결정은 우수한 다기능성 소재입니다. 그것은 고온저항, 좋은 열전도, 높은 견고성, 적외선 침해와 좋은 화확적 안정성을 가지고 있습니다. 넓게 많은 분야에서 산업, 국방과 과학적 연구에 사용했습니다 (고온 레지스턴트 적외선 창, 기타 등등과 같이). 동시에, 그것은 또한 다양한 사용과 일종의 단일 결정 기판 물질입니다. 그것은 중요한 초전도용 박막 기판과 더불어, 요즈음 푸른 자주빛, 백색 발광 다이오드 소자 (LED)와 청색 레이저 (LD) 산업에 발탁된 기판입니다 (질화갈륨막이 먼저 사파이어 기판에 에피텍드 필요가 있습니다).
배향은 잘렸습니다 |
R-비행기, 씨 플레인, A-비행기, M-비행기 또는 규정된 오리엔테이션 |
자세공차 |
± 0.3' |
지름 / 사이즈 |
2 인치, 3 인치, 4 인치, 6 인치, 8 인치 또는 다른 사람 |
직경 공차 |
± 0.2 밀리미터 |
두께 |
0.25 밀리미터, 0.33 밀리미터, 0.43 밀리미터, 0.65 밀리미터, 1 밀리미터 또는 다른 사람 ; |
두께 공차 |
± 25μm |
1차 플래트 길이 |
2 인치 동안 16.0±1.0mm, 3 인치 동안 22.0±1.0mm, 4 인치 동안 30.0±1.5mm, 6 인치 동안 47.5/50.0±2.0mm |
1차 플래트 배향 |
A-비행기 (1 1-2 0 ) ± 0.2' ; 씨 플레인 (0 0-0 1 ) ± 0.2가' C-주축 45 +/- 2를 계획했습니다' |
TTV |
2 인치 동안 ≤10um, 3 인치 동안 ≤15um, 4 인치 동안 ≤20um, 6 인치 동안 ≤25um |
활 |
2 인치 동안 ≤10um, 3 인치 동안 ≤15um, 4 인치 동안 ≤20um, 6 인치 동안 ≤25um |
전면 |
Epi 닦은 (Ra< 0=""> |
뒷 표면 |
미세 지면 (Ra=0.6μm~1.4μm) 또는 닦은 Epi |
패키징 |
수업 100 클린 룸 환경에서 패키징됩니다 |