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상세 정보 |
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| 제품: | 절연체 위의 LiNbO3 | 직경: | 4는 조금씩 움직입니다, 6이 조금씩 움직입니다 |
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| 최상위 계층: | 니오브산리튬 | 최고 두께: | 300~600nm |
| 일사병: | SiO2 열 산화물 | 일사병 두께: | 2000±15nm ; 3000±50nm ; 4700±100nm |
| 지지 계층: | Si 、 융합 실리카 | 적용: | 광학 파장가이드와 마이크로웨이브가이드 |
| 강조하다: | 6인치 LNOI 웨이퍼,고성능 광통신 LNOI 웨이퍼,컴팩트 LNOI 웨이퍼 |
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제품 설명
4인치 6- 1인치LNOI 웨이퍼: 컴팩트하고 고성능 광 통신에 완벽한 선택
- 네초저손실 LNOI 웨이퍼로 광학을 혁신- 네
- 네차세대 리?? 니오바트 단열기 (LNOI) 플랫폼- 네
우리의 최첨단 LNOI 웨이퍼로 통합 광학에서 전례 없는 성능을 발휘할 수 있습니다. 극저 광적 손실과 미만 나노미터 표면 거칠성을 위해 설계된 것입니다.소화기학적 LiNbO3 얇은 필름과 열 산화 된 SiO2 묻힌 층을 결합합니다.우리 웨이퍼가 배달합니다>30배 더 높은 비선형 효율CMOS에 호환되는 제조를 가능하게 함으로써
주요 장점
✓ 획기적인 EO 성능: r33 >30 pm/V로>100 GHz 변조 대역폭을 달성합니다. 800G/1.6T 일관성 트랜시버에 이상적입니다.
✓ 양자 준비 정밀: 얽힌 광자 생성을 위해 <5nm 도메인 오류로 사용자 지정 주기 폴링 (PPLN).
✓ 전력 강화 설계: > 10 MW/cm2 광 강도를 견딜 수 있습니다 (텔코디아 GR-468 인증).
신청서
▷ 5G/6G 초밀집 EO 변조기
▷ 토폴로지 광학 회로 & 광학 컴퓨팅
▷ 양자 주파수 변환기 (C/L 대역에서 통신 대역)
▷ 높은 감수성 LiDAR 광 탐지기
기술 사양
• 웨이퍼 크기: 100/150mm 지름 (2"에서 6" 사용자 정의)
• LiNbO3 레이어: X 절단/Z 절단, 두께 300±5 nm (표준)
• 묻힌 산화물: 1-3 μm SiO2, 분해 전압 > 200 V/μm
• 기판: 높은 저항성 Si (> 5 kΩ·cm)
| LNOI 웨이퍼 | |||
| 구조 | LN / SiO2/ 네 | LTV / PLTV | < 1.5μm (5∙5mm2) / 95% |
| 직경 | Φ100 ± 0.2mm | 가장자리 제외 | 5mm |
| 두께 | 500 ± 20 μm | 굴복 | 50μm 이내에 |
| 기본 평면 길이 | 47.5 ± 2mm 57.5 ± 2mm |
가장자리 정비 | 2 ± 0.5mm |
| 웨이퍼 비벨링 | R 타입 | 환경 | 로스 20 |
| 상위 LN 층 | |||
| 평균 두께 | 400/600±10 nm | 통일성 | < 40nm @ 17점 |
| 굴절 지수 | 아니 > 22800, ne < 2.2100 @ 633 nm | 방향성 | X축 ± 0.3° |
| 등급 | 광학 | 표면 Ra | < 0.5 nm |
| 결함 | 1mm 이상 없거나 ∙1mm 총 300개 내 |
델라미네이션 | 아무 것도 |
| 스크래치 | > 1cm 없음 ∙1cm 3개 안에 |
주요 아파트 | +Y축에 수직 ± 1° |
| 고립성 SiO2레이어 | |||
| 평균 두께 | 2000nm ± 15nm 3000nm ± 50nm 4700nm ± 100nm | 통일성 | < ± 1% @17점 |
| 팩트릭 방법 | 열산화물 | 굴절 지수 | 1.45-1.47 @ 633 nm |
| 기판 | |||
| 소재 | 네 | 방향성 | <100> ± 1° |
| 기본 평면 방향 | < 110> ± 1° | 저항성 | > 10 kΩ·cm |
| 뒷면 오염 | 눈에 띄는 얼룩이 없습니다 | 뒷면 | 에치 |
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