자외선부터 적외선 넓은 투명도 범위까지 LiTaO3 폴리싱 웨이퍼

LiTaO3 웨이퍼
2022-05-12
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자외선부터 적외선 넓은 투명도 범위까지 화학 기계적 연마 LiTaO3 웨이퍼 리튬 탄탈레이트 (LiTaO3)는 압전기이고 전기 광학적이고 비선형-광학 특성과 자외선부터 적외선까지 가는 넓은 투명도 범위를 가집니다. LiTaO3 웨이퍼가 상등품으로 작용하기 위해 평활 표면이었다는 것이 바람직합니다. 화학 기계적 연마 (CMP)는 집적 회로 (ICs)를 평면화... 더 보기
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