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광학적 장치를 위한 리튬 탄탈레이트 화합물 반도체 웨이퍼는 장치를 봤습니다

리튬 탄탈레이트 웨이퍼
2022-05-12
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#6 " 리튬 탄탈레이트 웨이퍼 #리튬 탄탈레이트 웨이퍼 36Y 42Y #4 인치 리튬 탄탈레이트 웨이퍼
광학적 장치, SAW 소자를 위해 사용된 화합물 반도체 리튬 탄탈레이트 웨이퍼 화합물 반도체는 2가지 화학적 성분 이상으로 구성된 반도체입니다. 리튬 탄탈레이트(LiTaO3) 웨이퍼는 여러 광학적 장치, 특히 탄성 표면 물결(톱) 장치를 위해 사용됩니다. SAW 소자 절차에서 리소그래피 때문에, LiTaO3 끝마무리는 필요합니다. 본 논문에서, 금속 화학 ... 더 보기
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