수정질의 석영 플레이트와 TSMR 두께 전단 모드 공진기 센서

압전 웨이퍼
2022-08-18
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수정질의 석영 플레이트와 TSMR 두께 전단 모드 공진기 센서 하향식 유전 응용을 위한 수정 압력 센서는 밀봉하여 두 석영 엔드 캡 사이에 봉지된 석영 압전 공진기로 구성됩니다. 레소나토랑 엔드캡은 AT인 석영으로 만들어지고 잘렸습니다. 그것이 다른 이용 가능한 삭감과 비교하여 가장 작은 그 온도 응답을 가지고 있기 때문에 AT 삭감은 발탁됩니다. 수정 공... 더 보기
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