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상세 정보 |
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| 소재: | LiTaO3박막 | 등급: | SAW 등급 |
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| 배향: | 42Y 절단, 36Y 절단, Z 절단 등 | 표면가공도: | DSP, SSP |
| 직경: | 3인치, 4인치 | 두께: | 50±2um, 100±2um |
| 1차 플래트: | 22±2mm, 32±2mm | 적용: | 피로 전기적 응용 |
| 강조하다: | SSP 리?? 탄탈레이트 웨이퍼,30um 두꺼운 리타오3 얇은 필름,3인치 리타오3 웨이퍼 |
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제품 설명
3인치 4인치 30um 두꺼운 리타오3 얇은 필름: 피로 전기 우아함 재정의
리타오3 얇은 필름의 우아함과 피로 전기적인 효과를 살펴보세요.20um의 웨이퍼 레벨 두께와 최대 4 인치 지름이 정교한 기술의 대명사입니다. 온도 변동이 LiTaO3의 피로 전기 효과를 유발하기 때문에,이 웨이퍼들은 화염 탐지 및 분광학과 같은 응용 분야에서 중추적인 역할을 합니다.우리의 웨이퍼의 얇은 면은 반응성을 증폭시켜 기술 혁신에서 정확성을 추구하는 사람들에게 선택되는 재료로 리타오3를 만듭니다.
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직경 |
76.2±0.2mm |
100±0.2mm |
150±0.2mm |
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오리엔테이션 평면 |
22±1mm |
32±1mm |
470.5mm, 57.5mm, 톱니 |
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절단 각도 |
36°Y, 42°Y, X-112°Y, Y, Z |
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두께 |
00.02mm~1.0mm |
00.02mm~1.0mm |
00.03mm~1.0mm |
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표면 마감 |
단일 / 이중 면 닦은 / 이중 면 닦은 |
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TTV |
< 1~5μm |
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BOW |
± (20μm ~ 40um) |
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워프 |
<= 20μm ~ 50μm |
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LTV (5mmx5mm) |
<1.5mm |
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PLTV ((<0.5um) |
≥98% (5mm*5mm) 2mm 가장자리를 제외한 |
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반짝인 면 |
거칠성 Ra<=5A |
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뒷면 |
거칠성 Ra:00.5-1.0μm, GC#1000 |
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S/D |
20/10, 40/20, 60/40 |
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엣지 프로파일 |
SEMI M1.2@와 GC800#로 완료 |
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균열, 톱나무 흔적, 얼룩 |
아무 것도 |
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결정 구조 |
삼각형, 공간 그룹 R3c, 포인트 그룹 3m |
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셀 매개 변수 |
a=5.154Å, c=13.781Å |
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녹는점 |
1650°C |
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퀴리 온도 |
607°C |
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모스 강도 |
5.5 |
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밀도 |
7.46g/cm3 |
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다이렉트릭 상수 |
ε11/ε0:51.7 |
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ε33/ε0:44.5 |
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유연성 딱딱함 계수 |
CE11:2.33(×1011N/m2) |
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CE33:2.77 ((×1011N/m2) |
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피에조 전기 스트레인 상수 |
d22:2.4 ((×10-11C/N) |
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d33:0.8 ((×10-11C/N) |
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변속 범위 |
400~4500nm |
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전기 광학 계수 |
r33=30.4pm/V |
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반열 지수는 632.8nm |
no=2 입니다.176, ne=2.180 |
승인 확인
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- 네
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