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상세 정보 |
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| 소재: | LiTaO3박막 | 등급: | SAW 등급 |
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| 배향: | 42Y 절단, Z 절단, 36Y 절단 등 | 표면 마감: | 폴란드어, 랩 |
| 직경: | 3인치, 4인치 | 두께: | 80±2m |
| 주요 아파트: | 22±2mm, 32±2mm | 적용: | 피로 전기 |
| 강조하다: | 얇은 필름 리타오3 웨이퍼,생의학적 센싱에서 리?? 탄탈레이트 웨이퍼,리?? 탄탈레이트 웨이퍼 3 인치 |
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제품 설명
얇은 필름, 강력한 응용: 생의학 센싱에서 LiTaO3
생의학적 감지 분야에서, LiTaO3는 소화 전기적 효과와 초느다란 웨이퍼에 대한 우리의 헌신으로 인해 게임 변경자로 떠오릅니다.웨이퍼 레벨 두께는 20um만큼 얇고 지름은 4 인치까지, 이 LiTaO3 웨이퍼는 정확성의 새로운 표준을 설정합니다. 생의학 센서에서 활용되면 피로 전기 효과는 다양한 의료 응용 분야에서 중요한 정확한 온도 측정을 보장합니다.환자 모니터링에서 진단 도구로, LiTaO3의 얇은 필름은 생의학 분야에서 민감성과 신뢰성을 우선시하는 혁신의 기초가됩니다.
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직경 |
76.2±0.2mm |
100±0.2mm |
150±0.2mm |
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주요 아파트 |
22±1mm |
32±1mm |
470.5mm, 57.5mm, 톱니 |
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방향성 |
36°Y, 42°Y, X-112°Y, Y, Z |
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두께 |
00.02mm~1.0mm |
00.02mm~1.0mm |
00.05mm~1.0mm |
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표면 마감 |
단일 / 이중 면 닦은 / 이중 면 닦은 |
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TTV |
< 1~5μm |
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BOW |
± (20μm ~ 40um) |
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워프 |
<= 20μm ~ 50μm |
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LTV (5mmx5mm) |
<1.5mm |
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PLTV ((<0.5um) |
≥98% (5mm*5mm) 2mm 가장자리를 제외한 |
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닦은 면 Ra |
거칠성 Ra<=5A |
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뒷면 기준 |
거칠성 Ra:00.5-1.0μm, GC#1000 |
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스크래치 & 디그 (S/D) |
20/10, 40/20, 60/40 |
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엣지 프로파일 |
SEMI M1.2@와 GC800#로 완료 |
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균열, 톱나무 흔적, 얼룩 |
아무 것도 |
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결정 구조 |
삼각형, 공간 그룹 R3c, 포인트 그룹 3m |
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셀 매개 변수 |
a=5.154Å, c=13.781Å |
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녹는점 |
1650°C |
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퀴리 온도 |
607°C |
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모스 강도 |
5.5 |
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밀도 |
7.46g/cm3 |
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다이렉트릭 상수 |
ε11/ε0:51.7 |
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ε33/ε0:44.5 |
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유연성 딱딱함 계수 |
CE11:2.33(×1011N/m2) |
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CE33:2.77 ((×1011N/m2) |
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피에조 전기 스트레인 상수 |
d22:2.4 ((×10-11C/N) |
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d33:0.8 ((×10-11C/N) |
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변속 범위 |
400~4500nm |
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전기 광학 계수 |
r33=30.4pm/V |
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반열 지수는 632.8nm |
no=2 입니다.176, ne=2.180 |