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AT 삭감은 두께 전단 모드 압력 센서를 위한 석영 엔드 캡을 코팅했습니다

압전 웨이퍼
2023-03-07
5860 의견
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#6 인치 피에조 웨이퍼 #8 인치 피에조 웨이퍼 #4 " 압전박판
AT은 두께 전단 모드 압력 센서를 위한 코팅된 석영 엔드캡을 줄였습니다 듀얼-모드 두께-전단 압력 센서는 석유와 가스 산업에서 사용됩니다. 그것은 양쪽 압력과 온도를 측정하고, 이전 설계 위에서 증가 해상도를 제공합니다. 수정 압력 센서 설계를 위한 범위와 민감도는 공진기와 엔드캡 차원과 결정 방위에 의해 결정됩니다. 설계를 위한 성능 목표는 최고 온도에 ... 더 보기
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